直流輝光等離子體實(shí)驗(yàn)裝置
DH2005:
DH2006:
裝置包括可拆卸的氣體放電管、測(cè)量系統(tǒng)、真空系統(tǒng)、進(jìn)氣系統(tǒng)和水冷系統(tǒng)等部分組成。工作氣體、工作氣壓、電極距離等參數(shù)均可靈活地加以單獨(dú)或組合調(diào)控,從而利用該裝置可以系統(tǒng)了解等離子體的激發(fā)原理,研究工作氣壓、氣體種類等因素對(duì)等離子體的影響,不僅可以開設(shè)多個(gè)驗(yàn)證性實(shí)驗(yàn),而且可以開設(shè)研究性和綜合性實(shí)驗(yàn),以提高學(xué)生獨(dú)立分析問題的能力。
實(shí)用新型專利:ZL 2006 2 0102056.9
主要實(shí)驗(yàn)內(nèi)容
1、湯森第一電離系數(shù) a 及比值 a/p 的測(cè)定;
2、直流低氣壓放電現(xiàn)象觀察及伏安曲線的測(cè)量;
3、氣體擊穿電壓的測(cè)定及帕邢定律驗(yàn)證實(shí)驗(yàn);
4、等離子體電子溫度和濃度的測(cè)量等實(shí)驗(yàn)。
主要技術(shù)參數(shù)
上一個(gè):DH2008 系列微波 CVD 薄膜制備裝置
下一個(gè):DHPS 系列 直流濺射等離子體實(shí)驗(yàn)裝置